mateltechИзвестия высших учебных заведений. Материалы электронной техникиIzvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering1609-35772413-6387MISIS10.17073/1609-3577j.met202403.575mateltech-575Research ArticleФизические свойства и методы исследованияPHYSICAL CHARACTERISTICS AND THEIR STUDYТермовольтаический отклик в двухслойных тонкопленочных структурах на основе оксида цинкаThermovoltaic response of thin-film bilayered structures based on zinc oxidehttps://orcid.org/0000-0002-4024-4064МакагоновВ. А.MakagonovV. A.

ул. 20-летия Октября, д. 84, Воронеж, 394006

Макагонов Владимир Анатольевич — кандидат физ.-мат. наук, старший научный сотрудник кафедры твердотельной электроники, доцент кафедры физики

84 20-letiya Oktyabrya Str., Voronezh 394006

Vladimir A. Makagonov — Cand. Sci. (Phys.-Math.), Senior Researcher at the Department of Solid-State Electronics, Associate Professor of the Department of Physics

vlad_makagonov@mail.ruhttps://orcid.org/0000-0003-0029-9279ГабриельсК. С.GabrielsK. S.

ул. 20-летия Октября, д. 84, Воронеж, 394006

Габриельс Константин Сергеевич — канд. физ.-мат. наук, научный сотрудник кафедры твердотельной электроники

84 20-letiya Oktyabrya Str., Voronezh 394006

Konstantin S. Gabriels — Cand. Sci. (Phys.-Math.), Researcher at the Department of Solid-State Electronics

gabriels_k@mail.ruhttps://orcid.org/0009-0003-5880-946XКалининЮ. Е.KalininYu. E.

ул. 20-летия Октября, д. 84, Воронеж, 394006

Калинин Юрий Егорович — доктор физ.-мат. наук, профессор кафедры твердотельной электроники

84 20-letiya Oktyabrya Str., Voronezh 394006

Yuri E. Kalinin — Dr. Sci. (Phys.-Math.), Professor of the Department of Solid-State Electronics

kalinin48@mail.ruhttps://orcid.org/0009-0009-0844-6473ЛопатинА. Ю.LopatinA. Yu.

ул. 20-летия Октября, д. 84, Воронеж, 394006

Лопатин Артем Юрьевич — аспирант кафедры твердотельной электроники

84 20-letiya Oktyabrya Str., Voronezh 394006

Artem Yu. Lopatin — Postgraduate Student of the Department of Solid-State Electronics

lopatin-ayu@mail.ruhttps://orcid.org/0000-0002-2695-9477БлизнюкЛ. А.BliznyukL. A.

ул. П. Бровки, д. 19, Минск, 220072

Близнюк Людмила Александровна — зав. лабораторией электронной керамики

19 P. Brovka Str., Minsk 220072

Ludmila A. Bliznyuk — Laboratory Manager, Electronic Ceramics Laboratory

luyda@physics.byhttps://orcid.org/0000-0002-7008-847XФедотовА. К.FedotovA. K.

ул. Бобруйская, д. 11, Минск, 220006

Федотов Александр Кириллович — доктор физ.-мат. наук, профессор, главный научный сотрудник лаборатории физики перспективных материалов

11 Bobruiskaya Str., Minsk 220006

Alexander K. Fedotov — Dr. Sci. (Phys.-Math.), Professor, Chief Researcher, Laboratory of Advanced Materials Physics

akf1942@gmail.comВоронежский государственный технический университетРоссияVoronezh State Technical UniversityRussian FederationНаучно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедениюБеларусьScientific-Practical Materials Research Centre of the National Academy of Sciences of BelarusBelarusИнститут ядерных проблем Белорусского государственного университетаБеларусьResearch Institute for Nuclear Problems of Belarusian State UniversityBelarus202404062024272165174Copyright © Макагонов В.А., Габриельс К.С., Калинин Ю.Е., Лопатин А.Ю., Близнюк Л.А., Федотов А.К., 20242024Макагонов В.А., Габриельс К.С., Калинин Ю.Е., Лопатин А.Ю., Близнюк Л.А., Федотов А.К.Makagonov V.A., Gabriels K.S., Kalinin Y.E., Lopatin A.Y., Bliznyuk L.A., Fedotov A.K.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://met.misis.ru/jour/article/view/575

Предложена методика измерения термовольтаического эффекта в гетерогенных средах с градиентным распределением концентрации легирующей примеси, приводящей к градиентному распределению концентрации носителей заряда. Образцы оксида цинка, легированного железом, были получены методом ионно-лучевого напыления на подложки тонкой фольги тантала (для измерения термовольтаического эффекта), ситалла (для измерения эффекта Холла) и кремния (для исследования структуры). Содержание легирующей примеси в образцах хFe изменялось от 0,34 до 4,18 % (ат.). Исследования методом рентгеноструктурного фазового анализа показали, что для всех образцов характерна кристаллическая структура гексагонального оксида цинка. Пленки являются преимущественно ориентированными в направлении [002]. Концентрация носителей заряда в слоях экспериментальных образцов, определенная с помощью эффекта Холла на установке ECOPIA 5500 в постоянном магнитном поле с напряжённостью 0,5 Тл, изменялась в пределах 1016—1020 см-3. Образцы имели электронный тип проводимости. Для исследования термовольтаического эффекта синтезированы двухслойные образцы оксида цинка, легированные железом и имеющие разную концентрацию носителей заряда. На примере двухслойных тонкопленочных образцов на основе оксида цинка с различным содержанием легирующей примеси железа с применением предложенной методики исследован термовольтаический эффект. Установлено, что наибольшее значение термовольтаического отклика (U ~ 80 мкВ) наблюдается в двухслойном тонкопленочном образце с большей разницей концентрации носителей заряда между слоями (Δn ≈2·103 см-3). Наблюдаемое насыщение термовольтаического отклика связывается с достижением динамического равновесия между процессами диффузии носителей заряда от слоя с высокой концентрацией носителей к слою с низкой и процессом дрейфа носителей за счет внутреннего электрического поля.

A method for measuring the thermovoltaic effect in heterogeneous media with a gradient distribution of the dopant concentration, leading to a gradient distribution of the charge carrier concentration, is proposed. Samples of zinc oxide doped with iron were obtained by ion beam sputtering on a thin foil substrate of tantalum (to measure the thermovoltaic effect), citall (to measure the Hall effect) and silicon to study the structure. The content of the dopant in the samples varied from xFe = 0.34 to 4.18 at.%. X-ray diffraction phase analysis studies have shown that the crystal structure of hexagonal zinc oxide is characteristic for all samples. The films are predominantly oriented in the direction [002]. The concentration of charge carriers in the layers of experimental samples, determined using the Hall effect on the ECOPIA 5500 installation in a constant magnetic field with a strength of 0.5 T, varies between 1016–1020 cm-3. The samples had an electronic type of conductivity.

To study the thermovoltaic effect, two-layer zinc oxide samples doped with iron and having different concentrations of charge carriers were synthesized. The thermovoltaic effect was studied using the example of two-layer thin-film samples based on zinc oxide with different content of alloying iron impurities using the proposed technique. It was found that the highest value of the thermovoltaic response (U ~ 80 µV) is observed in a two-layer thin-film sample with a greater difference in the concentration of charge carriers between the layers (Δn ≈ 2·103 cm-3). The observed saturation of the thermovoltaic response is associated with the onset of dynamic equilibrium between the processes of diffusion of charge carriers from a layer with a high concentration of carriers to a layer with a low concentration and the process of carrier drift due to an internal electric field.

термовольтаический эффектоксид цинкалегирующая примесьthermovoltaic effectzinc oxidegradient dopingРабота выполнена при поддержке РНФ (проект № 24-29-20099)This work was supported by the Russian Science Foundation (project No. 24-29-20099).ReferencesПронин И.А., Аверин И.А., Божинова А.С., Георгиева А.Ц., Димитров Д.Ц., Карманов А.А., Мошников В.А., Папазова К.И., Теруков Е.И., Якушова Н.Д. Термовольтаический эффект в оксиде цинка, неоднородно легированном примесями с переменной валентностью. Письма в Журнал технической физики. 2015; 41(19): 22—28. https://journals.ioffe.ru/articles/42354Pronin I.A., Averin I.A., Bozhinova A.S., Georgieva A.C., Dimitrov D.C., Karmanov A.A., Moshnikov V.A., Papazova K.I., Terukov E.I., Yakushova N.D. Thermovoltaic effect in zinc oxide inhomogeneously doped with impurities with variable valence. Pis'ma v zhurnal tekhnicheskoi fiziki. 2015; 41(19): 22—28. (In Russ.). https://journals.ioffe.ru/articles/42354Takahashi T., Yamada O. Mechanism of voltage generation during phase change of FeS single crystals. Journal of Physics and Chemistry of Solids. 1976; 37(2): 161-165. https://doi.org/10.1016/0038-1098(75)90510-4Takahashi T., Yamada O. Mechanism of voltage generation during phase change of FeS single crystals. Journal of Physics and Chemistry of Solids. 1976; 37(2): 161-165. https://doi.org/10.1016/0038-1098(75)90510-4Пронин И.А., Якушова Н.Д., Димитров Д.Ц., Крастева Л.К., Папазова К.И., Карманов А.А., Аверин И.А., Георгиева А.Ц., Мошников В.А., Теруков Е.И. Новый тип газовых сенсоров на основе термовольтаического эффекта в оксиде цинка, неоднородно легированном примесями переменной валентности. Письма в журнал технической физики. 2017; 43(18): 11—16. https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.18.45028.16754Pronin I.A., Yakushova N.D., Dimitrov D.C., Krasteva L.K., Papazova K.I., Karmanov A.A., Averin I.A., Georgieva A.C., Moshnikov V.A., Terukov E.I. A new type of gas sensors based on the thermovoltaic effect in zinc oxide inhomogeneously doped with impurities of variable valence. Pis'ma v zhurnal tekhnicheskoi fiziki, 2017; 43(18): 11—16. (In Russ.). https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.18.45028.16754Каминский В.В., Соловьёв С.М., Судак Н.М., Залдастанишвили М.И. Обнаружение термовольтаического эффекта в гетероструктуре на основе теллурида свинца. Письма в журнал технической физики. 2020; (1): 52. https://doi.org/10.21883/PJTF.2020.01.48866.17834Kaminsky V.V., Solovyov S.M., Sudak N.M., Zaldastanishvili M.I. Detection of the thermovoltaic effect in a heterostructure based on lead telluride. Pis'ma v zhurnal tekhnicheskoi fiziki. 2020; (1): 52. (In Russ.). https://doi.org/10.21883/PJTF.2020.01.48866.17834Каминский В.В., Казанин В.В. Термовольтаический эффект в тонкопленочных структурах на основе сульфида самария. Письма в журнал технической физики. 2008; (8): 92—94. https://journals.ioffe.ru/articles/12044Kaminsky V.V., Kazanin V.V. Thermovoltaic effect in thin-film structures based on samarium sulfide. Pis'ma v zhurnal tekhnicheskoi fiziki, 2008; (8): 92—94. (In Russ.). https://journals.ioffe.ru/articles/12044Каминский В.В., Соловьёв С.М. Возникновение электродвижущей силы при изменении валентности ионов самария в процессе фазового перехода в монокристаллах SmS. Физика твердого тела. 2001; 43(3): 423—426. https://journals.ioffe.ru/articles/38082Kaminsky V.V., Solovyov S.M. The emergence of an electromotive force when the valence of samarium ions changes during a phase transition in SmS single crystals. Fizika tverdogo tela. 2001; 43(3): 423—426. (In Russ.). https://journals.ioffe.ru/articles/38082Каминский В.В., Казанин М.М., Соловьёв С.М., Голубков А.В. Термовольтаический эффект в гетероструктурах на основе сульфида самария с составом Sm1-xEuxS. Журнал технической физики. 2012; (6): 142—144. https://journals.ioffe.ru/articles/10636.Kaminsky V.V., Kazanin M.M., Solovyov S.M., Golubkov A.V. Thermovoltaic effect in heterostructures based on samarium sulfide with the composition Sm1-xEuxS. Zhurnal tekhnicheskoi fiziki, 2012; (6): 142—144. (In Russ.). https://journals.ioffe.ru/articles/10636Егоров В.М., Каминский В.В. Эндотермический эффект при нагревании полупроводникового сульфида самария. Физика твердого тела. 2009; 51(8): 1521—1522. https://journals.ioffe.ru/articles/2352Egorov V.M., Kaminsky V.V. Endothermic effect when heating semiconductor samarium sulfide. Fizika tverdogo tela, 2009; 51(8): 1521—1522. (In Russ.). https://journals.ioffe.ru/articles/2352Каминский В.В., Васильев Л.Н., Романова М.В., Соловьев С.М. Механизм возникновения электродвижущей силы при нагревании кристаллов SmS. Физика твердого тела. 2001; 43(6): 997—999. https://journals.ioffe.ru/articles/38191Kaminsky V.V., Vasiliev L.N., Romanova M.V., Solovyov S.M. The mechanism of occurrence of electromotive force during heating of SmS crystals. Fizika tverdogo tela. 2001; 43(6): 997—999. (In Russ.). https://journals.ioffe.ru/articles/38191Каминский В.В., Дидик В.А., Казанин М.М., Романова М.В., Соловьёв С.М. Термовольтаический эффект в поликристаллическом SmS. Письма в журнал технической физики. 2009; 35(21): 16—22. https://journals.ioffe.ru/articles/14013Kaminsky V.V., Didik V.A., Kazanin M.M., Romanova M.V., Solovyov S.M. Thermovoltaic effect in polycrystalline SmS. Pis'ma v zhurnal tekhnicheskoi fiziki. 2009; 35(21): 16—22. (In Russ.). https://journals.ioffe.ru/articles/14013Гревцев М.А., Казаков С.А., Казанин М.М., Каминский В.В. Электрические характеристики термовольтаического элемента на основе сульфида самария. Журнал технической физики. 2020; 90(10): 1739—1740. https://doi.org/10.21883/JTF.2020.10.49807.247-19Grevtsev M.A., Kazakov S.A., Kazanin M.M., Kaminsky V.V. Electrical characteristics of a thermovoltaic element based on samarium sulfide. Zhurnal tekhnicheskoi fiziki. 2020; 90(10): 1739—1740. (In Russ.). https://doi.org/10.21883/JTF.2020.10.49807.247-19Грошев И., Полухин И. Сульфид самария и новейшие разработки на его основе. Компоненты и технологии. 2014; (8): 126—133. https://www.elibrary.ru/item.asp?id = 21884102Groshev I., Polukhin I. Samarium sulfide and the latest developments based on it. Komponenty i tekhnologii, 2014; (8): 126—133. (In Russ.). https://www.elibrary.ru/item.asp?id = 21884102Пат.2303834 (РФ). Термоэлектрический генератор (варианты) и способы изготовления термоэлектрического генератора / Каминский В.В., Голубков А.В., Казанин М.М., Павлов И.В., Соловьев С.М., Шаренкова Н.В., 2007. https://rusneb.ru/catalog/000224_000128_0002303834_20070727_C2_RU/Patent 2303834 (RF). Thermoelectric generator (variants) and methods of manufacturing a thermoelectric generator. Kaminsky V.V., Golubkov A.V., Kazanin M.M., Pavlov I.V., Solovyov S.M., Sharenkova N.V., 2007. https://rusneb.ru/catalog/000224_000128_0002303834_20070727_C2_RU/Fedotov A.K., Pashkevich A.V., Fedotova J.A., Fedotov A.S., Kołtunowicz T.N., Zukowski P., Ali Arash Ronassi, Fedotova V.V., Svito I.A., Budzyński M. Electron transport and thermoelectric properties of ZnO ceramics doped with Fe. J. Alloys Compds. 2021; 854: 156169. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2020.156169Fedotov A.K., Pashkevich A.V., Fedotova J.A., Fedotov A.S., Kołtunowicz T.N., Zukowski P., Ali Arash Ronassi, Fedotova V.V., Svito I.A., Budzyński M. Electron transport and thermoelectric properties of ZnO ceramics doped with Fe. J. Alloys Compds. 2021; 854: 156169. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2020.156169Федотов А.К., Пашкевич А.В., Ховайло В.В., Харченко А.А., Подденежный Е.Н., Близнюк Л.А., Федотова В.В. Электрические и термоэлектрические свойства керамик на основе ZnO, легированных железом и кобальтом. Российские нанотехнологии. 2021; (16): 117—125. https://doi.org/10.1134/S1992722321030043Fedotov A.K., Pashkevich A.V., Khovailo V.V., Kharchenko A.A., Poddenezhny E.N., Bliznyuk L.A., Fedotova V.V. Electrical and thermoelectric properties of ceramics based on ZnO, alloyed with iron and cobalt. Rossiiskie nanotekhnologii, 2021; 16: 117—125. (In Russ.) https://doi.org/10.1134/S1992722321030043Winarski D. Synthesis and characterization of transparent conductive zinc oxide thin films by sol-gel spin coating method. Thesis diss. of master science. Graduate College of Bowling Green State University; 2015.Winarski D. Synthesis and characterization of transparent conductive zinc oxide thin films by sol-gel spin coating method. Thesis diss. of master science. Graduate College of Bowling Green State University; 2015.Семикина Т.В., Комащенко В.Н., Шмырева Л.Н. Оксидная электроника как одно из направлений прозрачной электроники. Электроника и связь. Тематический выпуск «Электроника и нанотехнологии». 2010; (3): 20—28. https://www.researchgate.net/publication/338347890_KPI-transpelectr-2010_3_20_28Semikina T.V., Komashchenko V.N., Shmyreva L.N. Oxide electronics as one of the directions of transparent electronics. Elektronika i svyaz'. Tematicheskii vypusk «Elektronika i nanotekhnologii», 2010; (3): 20—28. (In Russ.). https://www.researchgate.net/publication/338347890_KPI-transpelectr-2010_3_20_28Hjiria M., El Mir L., Leonardi S.G., Pistone A. Al-doped ZnO for highly sensitive CO gas sensors. Sensors and Actuators B: Chemical, 2014; 196: 413—420. https://doi.org/10.1016/j.snb.2014.01.068Hjiria M., El Mir L., Leonardi S.G., Pistone A. Al-doped ZnO for highly sensitive CO gas sensors. Sensors and Actuators B: Chemical, 2014; 196: 413—420. https://doi.org/10.1016/j.snb.2014.01.068Hosono H., Ueda K. Transparent Conductive Oxides. Springer, Cham., 2017: 42—51. https://doi.org/10.1007/978-3-319-48933-9_58Hosono H., Ueda K. Transparent Conductive Oxides. Springer, Cham., 2017: 42—51. https://doi.org/10.1007/978-3-319-48933-9_58Ong C.B., Ng L.Y., Mohammad A.W. A review of ZnO nanoparticles as solar photocatalysts: Synthesis, mechanisms and applications. Renewable and Sustainable Energy Reviews. 2018; 81(1): 536—551. https://doi.org/10.1016/j.rser.2017.08.020Ong C.B., Ng L.Y., Mohammad A.W. A review of ZnO nanoparticles as solar photocatalysts: Synthesis, mechanisms and applications. Renewable and Sustainable Energy Reviews. 2018; 81(1): 536—551. https://doi.org/10.1016/j.rser.2017.08.020Deng H., Russell J.J., Lamb R.N., Jiang B. Microstructure control of ZnO thin films prepared by single source chemical vapor deposition. Thin Solid Films. 2004; 458(1): 43—46. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2003.11.288Deng H., Russell J.J., Lamb R.N., Jiang B. Microstructure control of ZnO thin films prepared by single source chemical vapor deposition. Thin Solid Films. 2004; 458(1): 43—46. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2003.11.288Shinagawa T., Otomo S., Katayama J.-I. Electroless deposition of transparent conducting and (0001)-oriented ZnO films from aqueous solutions. Electrochemica Acta. 2007; 53: 1170—1174. https://doi.org/10.1016/j.electacta.2007.03.056Shinagawa T., Otomo S., Katayama J.-I. Electroless deposition of transparent conducting and (0001)-oriented ZnO films from aqueous solutions. Electrochemica Acta. 2007; 53: 1170—1174. https://doi.org/10.1016/j.electacta.2007.03.056Heo Y.W., Norton D.P., Pearton S.J. Origin of green luminescence in ZnO thin film grown by molecular-beam epitaxy. J. Appl. Phys. 2005; 98: 73—81. https://doi.org/10.1063/1.2064308Heo Y.W., Norton D.P., Pearton S.J. Origin of green luminescence in ZnO thin film grown by molecular-beam epitaxy. J. Appl. Phys. 2005; 98: 73—81. https://doi.org/10.1063/1.2064308Liu T.Q., Sakurai O., Mizutani N., Kato M. Preparation of spherical fine ZnO particles by the spray pyrolysis method using ultrasonic atomization techniques. J. Mater Science. 1986; 21(10): 3698—3702. https://doi.org/10.1007/BF02403024Liu T.Q., Sakurai O., Mizutani N., Kato M. Preparation of spherical fine ZnO particles by the spray pyrolysis method using ultrasonic atomization techniques. J. Mater Science. 1986; 21(10): 3698—3702. https://doi.org/10.1007/BF02403024Бураков В.С., Тарасенко Н.В., Невар Е.А., Неделько М.И. Морфология и оптические свойства наноструктур оксида цинка, синтезированных методами термического и электроразрядного распыления. Журнал технической физики. 2011; 81(2): 89—97. https://journals.ioffe.ru/articles/10229Burakov V.S., Tarasenko N.V., Nevar E.A., Nedel'ko M.I. Morphology and optical properties of zinc oxide nanostructures synthesized by the methods of thermal and discharge sputtering. Zhurnal tekhnicheskoi fiziki, 2011; 81(2): 89—97. (In Russ.). https://journals.ioffe.ru/articles/10229Несветаев Д.Г., Кайдашев Е.М., Пузиков А.С. Импульсное лазерное напыление ZnO наноструктур. Инженерный вестник Дона. 2013; (4): 50—55.Nesvetaev D.G., Kaidashev E.M., Puzikov A.S. Pulsed laser spraying of ZnO nanostructures. Inzhenernyi vestnik Dona. 2013; (4): 50—55. (In Russ.)Залесский В.Б., Леонова Т.Р., Гончарова О.В., Викторов И.А., Гременок В.Ф., Зарецкая Е.П. Получение тонких пленок оксида цинка методом реактивного магнетронного распыления и исследование их электрических и оптических характеристик. Рhysics and chemistry of solid state. 2005; 6(1): 44—49.Zalesskii V.B., Leonova T.R., Goncharova O.V., Viktorov I.A., Gremenok V.F., Zaretskaya E.P. Production of thin zinc oxide films by reactive magnetron sputtering and investigation of their electrical and optical characteristics. Рhysics and chemistry of solid state. 2005; 6(1): 44—49. (In Russ.).Жилин Д.А., Лянгузов Н.В., Кайдашев Е.М. УФ фотоприемник на основе наностержней и пленок оксида цинка. Инженерный вестник Дона. 2013; (4): 55—60. https://elibrary.ru/item.asp?id = 21452146Zhilin D.A., Lyanguzov N.V., Kaidashev E.M. UV photodetector based on nanorods and zinc oxide films. Inzhenernyi vestnik Dona. 2013; (4): 55—60. (In Russ.). https://elibrary.ru/item.asp?id = 21452146Самофалова Т.В., Семенов В.Н. Осаждение тонких слоев сульфида цинка из тиомочевинных комплексов и их свойства. Конденсированные среды и межфазные границы; 2016; 18(2): 248—255. https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/131Samofalova T. V., Semenov V. N. Deposition of thin layers of zinc sulfide from thiourea complexes and their properties. Kondensirovannye sredy i mezhfaznye granitsy = Condensed Matter and Interphases. 2016; 18(2): 248—255. (In Russ.). https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/131Лашкова Н.А., Максимов А.И., Матюшкин Л.Б., Мошников В.А., Рябко А.А., Сомов П.А., Туленин С.С. Локальные электрофизические свойства проводящих пленок ZnO. Бутлеровские сообщения. 2015; 42(6): 48—53. http://foundation.butlerov.com/bh-2015Lashkova N.A., Maksimov A.I., Matyushkin L.B., Moshnikov V.A., Ryabko A.A., Somov P.A., Tulenin S.S. Local electrophysical properties of conductive ZnO films. Butlerovskie soobshcheniya. 2015; 42(6): 48—53. (In Russ.). http://foundation.butlerov.com/bh-2015Гриднев С.А., Калинин Ю.Е., Ситников А.В., Стогней О.В. Нелинейные явления в нано- и микрогетерогенных системах. М.: Бином, Лаборатория знаний; 2012. 352 с.Gridnev S.A., Kalinin Yu.E., Sitnikov A.V., Stogney O.V. Nonlinear phenomena in nano- and microheterogenic systems. Moscow: Binom, Laboratoriya znanii; 2012. 352 p. (In Russ.)Ситников А.В., Макагонов В.А., Калинин Ю.Е., Кущев С.Б., Фошин В.А. Структура и электрические свойства тонкопленочных композитов Con(CoO)100-n. Журнал технической физики. 2023; 93(11): 1663—1672. http://dx.doi.org/10.61011/JTF.2023.11.56499.137-23Sitnikov A.V., Makagonov V.A., Kalinin Yu.E., Kushchev S.B., Foshin V.A. Structure and electrical properties of thin-film composites Con(CoO)100-n. Zhurnal tekhnicheskoi fiziki. 2023; 93(11): 1663—1672. (In Russ.). http://dx.doi.org/10.61011/JTF.2023.11.56499.137-23Kanchana S., Chithra M. J., E. Suhashini, Pushpanathan K. Violet emission from Fe doped ZnO nanoparticles synthesized by precipitation method. Journal of Luminescence. 2016; 76: 6—14. https://doi.org/10.1016/j.jlumin.2015.12.047Kanchana S., Chithra M. J., E. Suhashini, Pushpanathan K. Violet emission from Fe doped ZnO nanoparticles synthesized by precipitation method. Journal of Luminescence. 2016; 76: 6—14. https://doi.org/10.1016/j.jlumin.2015.12.047Pashkevich A.V., Fedotov A.K., Poddenezhny E.N., Bliznyuk L.A., Fedotova J.A., Basov N.A., Kharchanka A.A., Zukowski P., Koltunowicz T.N., Korolik O.V., Fedotova V.V. Structure, electric and thermoelectric properties of binary ZnO-based ceramics doped with Fe and Co. Journal of Alloys and Compounds. 2022; 895(Pt 2): 162621. doi.org/10.1016/j.jallcom.2021.162621Pashkevich A.V., Fedotov A.K., Poddenezhny E.N., Bliznyuk L.A., Fedotova J.A., Basov N.A., Kharchanka A.A., Zukowski P., Koltunowicz T.N., Korolik O.V., Fedotova V.V. Structure, electric and thermoelectric properties of binary ZnO-based ceramics doped with Fe and Co. Journal of Alloys and Compounds. 2022; 895(Pt 2): 162621. doi.org/10.1016/j.jallcom.2021.162621

The authors declare that there are no conflicts of interest present.