mateltechИзвестия высших учебных заведений. Материалы электронной техникиIzvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering1609-35772413-6387MISIS10.17073/1609-3577-2012-4-59-64mateltech-66Research ArticleНаноматериалы и нанотехнологииNANOMATERIALS AND NANOTECHNOLOGYПЛАНАРНЫЕ ВОЛНОВОДЫ ГРАДИЕНТНОГО ТИПА НА ОСНОВЕ НАНОРАЗМЕРНЫХ СЛОЕВ КВАРЦЕВОГО СТЕКЛА, ПОЛУЧЕННЫЕ В МИКРОВОЛНОВОЙ ПЛАЗМЕ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯGradient Planar Optical Waveguides on the Basis of Fluorinated Silica Glasses Fabricated in Low Pressure Microwave PlasmaШиловИ. П.ShilovI. P.

кандидат техн. наук, зав. лаб., Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Фрязинское отделение, 141120, г. Фрязи

КочмаревЛ. Ю.KochmarevL. U.

старший научный сотрудник, Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Фрязинское отделение, 141120, г. Фрязино, пл. Введенского, д. 1

Laserlab@ms.ire.rssi.ruКлючникН. Т.KlyuchnikN. T.

кандидат техн. наук, нач. отдела, ЗАО ЦНИТИ «Техномаш−ВОС», 121108, г. Москва, ул. Ивана Франко, д. 4

optdevice@mtu-net.ruЯковлевМ. Я.YakovlevM. Ya.

кандидат техн. наук, ген. директор, ЗАО ЦНИТИ «Техномаш−ВОС», 121108, г. Москва, ул. Ивана Франко, д. 4

optdevice@mtu-net.ruИнститут радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Фрязинское отделениеРоссияFryazino Branch, V.A. Kotelnikov Institute of Radio Engineering and ElectronicsRussian FederationЗАО ЦНИТИ «Техномаш−ВОС»РоссияTsNITI Technomash–WOS Co.Russian Federation201215032015045964Copyright © Шилов И.П., Кочмарев Л.Ю., Ключник Н.Т., Яковлев М.Я., 20152015Шилов И.П., Кочмарев Л.Ю., Ключник Н.Т., Яковлев М.Я.Shilov I.P., Kochmarev L.U., Klyuchnik N.T., Yakovlev M.Y.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://met.misis.ru/jour/article/view/66

Представлены результаты разработки и исследования технологии получения планарных градиентных волноводов на основе нанослоев фторированного кварцевого стекла в плазме СВЧ−разряда пониженного давления. Исследованы оптические характеристики планарных градиентных волноводов, рассмотрены вопросы их применения в многоканальных оптических разветвителях.

Results on gradient planar optical waveguides on the basis of fluorinated silica glasses fabricated in low pressure HF−plasma are presented. The optical characteristics are investigated and possible applications of planar gradient waveguides in multi−channel optic couplers are considered.

планарные градиентные волноводыкварцевое стекломикроволновой СВЧ−разрядпланарные оптические волноводыволоконно− оптические световодыgradient planar waveguidesquartz glassRF dischargeReferencesЗасовин, Э. А. Многополюсные волоконно−оптические разветвители для локальных систем передачи информации / Э. А. Засовин, Н. Т. Ключник, М. Я. Яковлев // Радиотехника. − 2004. − № 12. − С. 44—49.Засовин, Э. А. Многополюсные волоконно−оптические разветвители для локальных систем передачи информации / Э. А. Засовин, Н. Т. Ключник, М. Я. Яковлев // Радиотехника. − 2004. − № 12. − С. 44—49.Берикашвили, Ш. Интегрально−оптические волноводные дисперсионные элементы для ВОЛС / Ш. Берикашвили,Н. Т. Ключник, К. Н. Костенко, М. Я. Яковлев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. − 2005. − № 2. − С. 10—16.Берикашвили, Ш. Интегрально−оптические волноводные дисперсионные элементы для ВОЛС / Ш. Берикашвили,Н. Т. Ключник, К. Н. Костенко, М. Я. Яковлев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. − 2005. − № 2. − С. 10—16.Берикашвили, В. Ш. СВЧ−плазмохимическое осаждение планарных волноводных структур на основе кварцевого стекла / В. Ш. Берикашвили, В. В. Григорьянц, Н. Т. Ключник, Л. Ю. Кочмарев, И. П. Шилов, М. Я. Яковлев // Микросистемная техника. − 2004. − № 8. − С. 28—33.Берикашвили, В. Ш. СВЧ−плазмохимическое осаждение планарных волноводных структур на основе кварцевого стекла / В. Ш. Берикашвили, В. В. Григорьянц, Н. Т. Ключник, Л. Ю. Кочмарев, И. П. Шилов, М. Я. Яковлев // Микросистемная техника. − 2004. − № 8. − С. 28—33.Artjushenko, V. G. Plasmo−chemical synthesis of power fiber silica structures in a plasma of RF− and SRF−discharges / V. G. Artjushenko, L. M. Blinov, V. V. Volodko, Yu. V. Guljaev, E. M. Dianov, A. M. Prokhorov, V. P. Pashinin, A. M. Solomatin, I. P. Shilov // J. Soviet Lightwave Communications. − 1992. − N 2. − P. 171—182.Artjushenko, V. G. Plasmo−chemical synthesis of power fiber silica structures in a plasma of RF− and SRF−discharges / V. G. Artjushenko, L. M. Blinov, V. V. Volodko, Yu. V. Guljaev, E. M. Dianov, A. M. Prokhorov, V. P. Pashinin, A. M. Solomatin, I. P. Shilov // J. Soviet Lightwave Communications. − 1992. − N 2. − P. 171—182.Лебедев, И. В. Техника и приборы СВЧ / И. В. Лебедев. − М. : Высшая школа, 1970. − Т. 1. − 245 с.Лебедев, И. В. Техника и приборы СВЧ / И. В. Лебедев. − М. : Высшая школа, 1970. − Т. 1. − 245 с.Котюк, А. Ф. Введение в технику измерений оптико−физических параметров световодных систем / А. Ф. Котюк, Ю. А. Курчатов, Ю. П. Майборода. − М. : Радио и связь, 1987. − 224 с.Котюк, А. Ф. Введение в технику измерений оптико−физических параметров световодных систем / А. Ф. Котюк, Ю. А. Курчатов, Ю. П. Майборода. − М. : Радио и связь, 1987. − 224 с.Житковский, В. Д. Многомодовые разветвители на основе планарных оптических волноводов для информационных систем подвижных объектов / В. Д. Житковский, Н. Т. Ключник, И. П. Шилов, М. Я. Яковлев // Системы и средства связи, телевидения и радиовещания. − 2005. − № 1/2. − С. 50—61.Житковский, В. Д. Многомодовые разветвители на основе планарных оптических волноводов для информационных систем подвижных объектов / В. Д. Житковский, Н. Т. Ключник, И. П. Шилов, М. Я. Яковлев // Системы и средства связи, телевидения и радиовещания. − 2005. − № 1/2. − С. 50—61.Ключник, Н. Т. Волоконно−оптические разветвители на основе слоевых световодных структур / Н. Т. Ключник // Радиотехника. − 2004. − № 12. − С. 39—43.Ключник, Н. Т. Волоконно−оптические разветвители на основе слоевых световодных структур / Н. Т. Ключник // Радиотехника. − 2004. − № 12. − С. 39—43.Адамс, М. Введение в теорию оптических волноводов / М. Адамс. − М. : Мир, 1984. − 512 с.Адамс, М. Введение в теорию оптических волноводов / М. Адамс. − М. : Мир, 1984. − 512 с.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.