Шихов, А. И., Московский институт электроники и математики НИУ ВШЭ
-
Том 22, № 1 (2019) - Материаловедение и технология. Полупроводники
О связи протонного облучения и термической обработки монокристаллического кремния с его структурой
Аннотация PDF (Rus)
ISSN 1609-3577 (Print)
ISSN 2413-6387 (Online)
ISSN 2413-6387 (Online)