Информация об авторе

Резник, В. Я., ГНУ «Институт химических проблем микроэлектроники», Россия

  • № 2 (2012) - Моделирование процессов и материалов
    ОСОБЕННОСТИ ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЯ В ПРОЦЕССЕ ТЕРМООБРАБОТКИ БИЗДИСЛОКАЦИОННЫХ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛАСТИН КРЕМНИЯ БОЛЬШОГО ДИАМЕТРА С ЗАДАННЫМ РАСПРЕДЕЛЕНИЕМ В ОБЪЕМЕ КИСЛОРОДСОДЕРЖАЩИХ ГЕТТЕРИРУЮЩИХ ЦЕНТРОВ
    Аннотация  PDF (Rus)


ISSN 1609-3577 (Print)
ISSN 2413-6387 (Online)