Монахов, И. С., «Научно−исследовательский институт перспективных материалов и технологий», 115054, г. Москва, М. Пионерская ул., д. 12, Россия
-
№ 1 (2013) - Физические свойства и методы исследования
ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА IN SITU РЕНТГЕНОВСКОЙ РЕФЛЕКТОМЕТРИИ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПЛЕНОК КРЕМНИЯ
Аннотация PDF (Rus)
ISSN 1609-3577 (Print)
ISSN 2413-6387 (Online)
ISSN 2413-6387 (Online)