Для цитирования:

Крапухин В.В., Косушкин В.Г., Кожитов Л.В., Костишин В.Г., Муратов Д.Г., Попкова А.В. Эволюция системы моделей и алгоритмов для расчетов параметров технологических процессов получения материалов микро- и наноэлектроники. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2016;19(3):179-188. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2016-3-179-188

For citation:

Krapukhin V.V., Kosushkin V.G., Kozhitov L.V., Kostishin V.G., Muratov D.G., Popkova A.V. Evolution of models and algorithms for parameter calculation in micro- and nanoelectronics materials technology. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2016;19(3):179-188. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2016-3-179-188