МЕТОД ЧОХРАЛЬСКОГО: ИСТОРИЯ И РАЗВИТИЕ


https://doi.org/10.17073/1609-3577-2016-1-59-70

Полный текст:


Аннотация

В июле 1956 г., 60 лет тому назад, методом Чохральского был выращен первый в СССР промышленный монокристалл германия. Метод выращивания монокристаллов по Чохральскому в настоящее время является наиболее распространенным способом получения объемных монокристаллов. Достигнутый высокий технический уровень реализации и высокая степень автоматизации процесса делают этот метод наиболее предпочтительным для производства объемных монокристаллов, таких как кремний, германий, ряд оксидных кристаллов, многокомпонентных соединений. Дан исторический обзор появления и распространения этого метода с момента его изобретения Яном Чохральским в 1916 г. и до наших дней. Отмечается, что метод Чохральского в обозримой исторической перспективе останется ведущим методом получения объемных монокристаллов широкого круга материалов в промышленности и в научных разработках Представлены основные этапы развития метода в СССР и России. Проведено сравнение уровня зарубежных и отечественных разработок как в области создания оборудования, так и в области развития технологии. Обсуждены проблемы текущего состояния и перспективы развития метода. В России сегодня наблюдается отставание от мирового уровня промышленной практики выращивания монокристаллов для ряда важных материалов – кремния, арсенида галлия, антимонида индия и ряда других. Предлагаются необходимы действия со стороны государства, профессионального сообщества и институтов развития.


Об авторах

Е. П. Маянов
Государственный научно−исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности «Гиредмет».
Россия
Маянов Евгений Павлович — директор. Б. Толмачевский пер., д. 5, стр.1, Москва, 119017.


А. А. Гасанов
Государственный научно−исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности «Гиредмет».
Россия

 Гасанов Ахмедали Амиралы — канд. хим. наук, старший научный сотрудник, руководитель отделения особочистых веществ, редких и редкоземельных металлов. 

Б. Толмачевский пер., д. 5, стр.1, Москва, 119017.



А. В. Наумов
Государственный научно−исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности «Гиредмет».
Россия

Наумов Аркадий Валерьевич — старший научный сотрудник, аналитик−исследователь.

Б. Толмачевский пер., д. 5, стр.1, Москва, 119017.



Список литературы

1. Czochralski, J. Ein neues Verfahren zur Messung der Kristallisationsgeschwindigkeit der Metalle / J. Czochralski // Zeitschrift für Physikalische Chemie. − 1918. − V. 92. − S. 219—221.

2. Uecker, R. The historical development of the Czochralski method / R. Uecker // J. Cryst. Growth. − 2014. − V. 401. − P. 7—24. DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2013.11.095

3. Zulehner, W. Historical overview of silicon crystal pulling development / W. Zulehner // Mater. Sci. Eng. B. − 2000. − V. 73. − P. 7—15. DOI: 10.1016/S0921-5107(99)00427-4

4. von Hippel, E. The sources of innovation / E. von Hippel. − N. Y. ; Oxford : Oxford University Press, 1988. http://web.mit.edu/evhippel/www−old/books/sources/SofI.pdf (дата обращения: 26.02.2016).

5. Huff, H. R. An electronics division retrospective (1952—2002) and future opportunities in the twenty−first century / H. R. Huff // J. Electrochem. Soc. − 2002. − V. 5, N 149. − P. 35—58. DOI: 10.1149/1.1471893

6. Sceel, H. J. Ch. 1. The development of Crystal Growth technology / H. J. Scheel // Crystal Growth Technology. − John Wiley & Sons Ltd., 2004. − P. 1—14. DOI: 10.1002/0470871687.ch1

7. Жвирблянский, В. Ю. Методы и оборудование для выращивания монокристаллов / В. Ю. Жвирблянский. − Брянск, 2012. − 119 с.

8. Гиредмет, наша история / Под ред. Ю. Н. Пархоменко. − М., 2007. − 243 с.

9. Watanabe, M. 450 mm silicon: An opportunity and wafer scaling / M. Watanabe, S. Kramer. http://www.electrochem.org/dl/interface/wtr/wtr06/wtr06_p28-31.pdf (дата обращения: 26.02.2016).

10. О мерах государственной поддержки предприятий радиоэлектронной промышленности. http://government.ru/docs/21893/ (дата обращения: 26.02.2016).


Дополнительные файлы

Для цитирования: Маянов Е.П., Гасанов А.А., Наумов А.В. МЕТОД ЧОХРАЛЬСКОГО: ИСТОРИЯ И РАЗВИТИЕ. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2016;19(1):59-70. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2016-1-59-70

For citation: Mayanov E.P., Gasanov A.A., Naumov A.V. THE CZOCHRALSKI METHOD (CZ): HISTORY AND DEVELOPMENT. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2016;19(1):59-70. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2016-1-59-70

Просмотров: 101

Обратные ссылки

  • Обратные ссылки не определены.


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1609-3577 (Print)
ISSN 2413-6387 (Online)