Для цитирования:

Мазалов А.В., Сабитов Д.Р., Курешов В.А., Падалица А.А., Мармалюк А.А., Акчурин Р.Х. ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ РОСТА НА СТРУКТУРНОЕ СОВЕРШЕНСТВО СЛОЕВ AlN, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МОС–ГИДРИДНОЙ ЭПИТАКСИИ. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2013;(1):45-48. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2013-1-45-48

For citation:

Mazalov A.V., Sabitov D.R., Kureshov V.A., Padalitsa A.A., Marmalyuk A.A., Akchurin R.Kh. INFLUENCE OF CONDITIONS OF GROWTH ON STRUCTURAL PERFECTION OF LAYERS OF ALN RECEIVED BY METHOD MOS-GIDRIDNOY OF AN EPITAXY. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2013;(1):45-48. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2013-1-45-48