Для цитирования:
Темиров А.А., Кубасов И.В., Турутин А.В., Ильина Т.С., Кислюк А.М., Киселев Д.А., Скрылева Е.А., Соболев Н.А., Салимон И.А., Батрамеев Н.В., Малинкович М.Д., Пархоменко Ю.Н. Получение кремний-углеродных пленок методом плазмохимического осаждения с индукционным ассистированием. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2024;27(1):56-65. https://doi.org/10.17073/1609-3577j.met202310.564
For citation:
Temirov A.A., Kubasov I.V., Turutin A.V., Ilina T.S., Kislyuk A.M., Kiselev D.A., Skryleva E.A., Sobolev N.A., Salimon I.A., Batrameev N.V., Malinkovich M.D., Parkhomenko Yu.N. Creattion of silicon-carbon films by induction assisted plasma chemical deposition. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2024;27(1):56-65. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577j.met202310.564
Послать статью по эл. почте 