APPLICATION OF MATHEMATICAL MODEL FOR SUPPORT OF CRYSTAL GROWTH PROCESS IN MULTIZONE THERMAL INSTALLATIONS
https://doi.org/10.17073/1609-3577-2013-2-26-31
Abstract
A system for control of crystal growth process in the multizone thermal installation with an integrated mathematical model is developed. Experimental information on both temperature distribution and powers of the heating elements as well as calculation data about the form of crystallization front have been used as input information for the control system. Consecutive correction of controller setpoints of multizone thermal installation during crystal growth process based on calculated data is aiming at deviation reduction between crystal growth rate and container moving rate.
About the Authors
M. M. Philippov
Institute of monitoring climatic and ecological system
Russian Federation
Russian Federation
A. I. Gribenyukov
Institute of monitoring climatic and ecological system
Russian Federation
Russian Federation
V. E. Ginsar
Institute of monitoring climatic and ecological system
Russian Federation
Russian Federation
Yu. V. Babushkin
Institute of monitoring climatic and ecological system
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Грибенюков, А. И. Нелинейно−оптические кристаллы ZnGeP2: ретроспективный анализ технологических исследований / А. И. Грибенюков // Оптика атмосферы и океана. – 2002. – Т. 15, № 1. – С. 71—80.
2. Verozubova, G. A. Growth and defect structure of ZnGeP2 crystals / G. A. Verozubova, A. O. Okunev, A. I. Gribenyukov, A. Yu. Trofimiv, E. M. Trukhanov, A. V. Kolesnikov // J. Cryst. Growth. – 2010. – V. 312, N 8. – P. 1122—1126.
3. Марков, А. В. Выращивание монокристаллов арсенида галлия с высоким структурным совершенством методом вертикально направленной кристаллизации / А. В. Марков // Изв. вузов. Материалы электрон. техники. – 2006. – № 6. – С. 16—19.
4. Глазов, В.М. Физико-химические основы легирования полупроводников / В. М. Глазов, В. С. Земсков. – М. : Наука, 1967. – 272 с.
5. Филиппов, М. М. Оценка динамики температурного поля в рабочем объеме вертикальной установки Бриджмена при продольно-осевом перемещении ростового контейнера в процессе выращивания кристаллов / М. М. Филиппов, Ю. В. Бабушкин, А. И. Грибенюков, В. Е. Гинсар // Изв. Томского политехн. Ун-та. – 2009. – Т. 315, № 2. – C. 104—109.
6. Филиппов, М. М. Алгоритм оценки мощностей нагревательных элементов в многозонной установке для выращивания кристаллов по Бриджмену / М. М. Филиппов, Ю. В. Бабушкин, А. И. Грибенюков, В. Е. Гинсар // Там же. – 2009. – Т. 315, № 2. – C. 110—112.
7. Официальный сайт COMSOL Multiphysics [Электронный ресурс]. — режим доступа: http://www.comsol.com/. — 07.05.2011.
Review
For citations:
Philippov M.M., Gribenyukov A.I., Ginsar V.E., Babushkin Yu.V. APPLICATION OF MATHEMATICAL MODEL FOR SUPPORT OF CRYSTAL GROWTH PROCESS IN MULTIZONE THERMAL INSTALLATIONS. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2013;(2):26-31. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2013-2-26-31
Views:
891
Email this article 