For citations:
Кузнецов Ф.A., Смирнова Т.П., Файнер Н.И., Морозова Н.Б., Игуменов И.К. НОВЫЕ МЕТАЛЛОРГАНИЧЕСКИЕ ПРЕКУРСОРЫ И ПРОЦЕССЫ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ В ТЕХНОЛОГИЯХ НАНОМАТЕРИАЛОВ. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2012;(2):4-12. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2012-2-73-77
Email this article 