Для цитирования:

Гусев А.С., Рындя С.М., Зенкевич А.В., Каргин Н.И., Аверьянов Д.В., Грехов М.М. ИССЛЕДОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ И СТРУКТУРЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК 3C–SiC НА КРЕМНИИ МЕТОДАМИ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ И РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКТОМЕТРИИ. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2013;(2):44-48. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2013-2-44-48

For citation:

Gusev A.S., Ryndya S.M., Zenkevich A.V., Kargin N.I., Averyanov D.V., Grekhov M.M. RESEARCH OF MORPHOLOGY AND STRUCTURE OF 3C-SIC THIN FILMS ON SILICON BY ELECTRON MICROSCOPY AND X-RAY DIFFRACTOMETRY. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2013;(2):44-48. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2013-2-44-48