Для цитирования:

Кузьменко А.П., Динт Н., Кузько А.Е., Мин Тан М., Син Вин Т., Колпаков А.И. Наноразмерная характеризация металлических магнетронных нанопленочных мультислоев из Cr, Cu, Al, Ni на ситалле. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2016;19(3):195-203. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2016-3-195-203

For citation:

Kuzmenko A.P., Dint N., Kuzko A.E., Min Than M., Sin Win T., Kolpakov A.I. Nanoscale characterization of Cr, Cu, Al and Ni metallic magnetron nanofilm multilayers on sitall. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2016;19(3):195-203. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2016-3-195-203