Для цитирования:

Орлов А.А., Ганыкина Е.А., Резванов А.А. Учет пористости материала в модели временного пробоя диэлектрика в системе металлизации интегральных схем. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2021;24(4):242-247. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2021-4-242-247

For citation:

Orlov A.A., Ganykina E.A., Rezvanov A.A. Accounting of the porosity of the material in the simulation of the time-dependent dielectric breakdown in the metallization system of integrated circuits. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2021;24(4):242-247. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2021-4-242-247