Для цитирования:

Эрвье Ю.Ю. О НАКОПЛЕНИИ ПРИМЕСИ В АДСОРБЦИОННОМ СЛОЕ В ПРОЦЕССЕ ЛЕГИРОВАНИЯ ПРИ МОЛЕКУЛЯРНО–ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2013;(2):4-10. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2013-2-4-10

For citation:

Hervieu Y.Y. KINETICS OF DOPANT ACCUMULATION IN THE ADSORPTION LAYER DURING MOLECULAR-BEAM EPITAXY. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2013;(2):4-10. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2013-2-4-10