К ВОЗМОЖНОСТИ ВЫРАЩИВАНИЯ ОБЪЕМНЫХ КРИСТАЛЛОВ Si—Ge МЕТОДОМ ОСЕВОГО ТЕПЛОВОГО ПОТОКА ВБЛИЗИ ФРОНТА КРИСТАЛЛИЗАЦИИ
https://doi.org/10.17073/1609-3577-2013-3-12-19
Аннотация
Об авторах
М. И. Гоник
Центр теплофизических исследований «Термо», Центр материаловедения «Фотон»
Россия
Россия
кандидат техн. наук, директор, ООО «Центр материаловедения «Фотон», 601655 г. Александров, ул. Ческа Липа, д. 10.
Arne Cröll
Institute of Geosciences of Albert−Ludwigs−Universität, Freiburg, Germany
Россия
Россия
Prof. Dr., Director of Institute of Geosciences of Albert−Ludwigs−Universität, Hermann−Herder−Str. 5, D−79104 Freiburg, Germany
Список литературы
1. Paul, D. J. Silicon−germanium strained layer materials in microelectronics // D. J. Paul / Adv. Mater. − 1999. − V. 11, N 3. − P. 191—204.
2. Nakajima, K. Growth of Ge−rich SixGe1−x single crystal with uniform composition (x = 0.02) on a compositionally graded crystal for use as GaAs solar cells // K. Nakajima, S. Kodama, S. Miyashita, G. Sazaki, S. Hiyamizu / J. Crystal Growth. − 1999. − V. 205 − P. 270.
3. Abrosimov, N. V. Czochralski growth of Si− and Ge−rich SiGe single crystals / N. V. Abrosimov, S. N. Rossolenko, W. Thieme, A. Gerhardt, W. Schröder // J. Crystal Growth − 1997. − V. 174. − P. 182—186.
4. Dold, P. Growth and characterization of Ge1−xSix (x < 10 at %) single crystals // P. Dold, A. Barz, S. Recha, K. Pressel, M. Franz, K. W. Benz / J. Crystal Growth. − 1998. − V. 192. − P. 125—135.
5. Ostrogorsky, A. G. Numerical simulation of single crystal growth by submerged heater method / A. G. Ostrogorsky // J. Crystal Growth. − 1990. − V. 104, Iss. 2. − P. 233—238.
6. Golyshev, V. D. A temperature field investigation in case of crystal growth from the melt with a plane interface on exact determination thermal conditions / V. D. Golyshev, M. A. Gonik // Cryst. Prop. and Preparation − 1991. − V. 36−38. − P. 623—630.
7. Marin, C. Growth of Ga−doped Ge0.98Si0.02 by vertical Bridgman with a baffle / C. Marin, A. G. Ostrogorsky // J. Crystal Growth − 2000. − V. 211, Iss. 1−4. − P. 378—383.
8. Croell, A. Detached Bridgman Growth of Germanium−Silicon crystals under microgravity / A. Croell, A. Mitric, A. Senchenkov / Abstracts in ICASP−2. − Seggau (Austria), 2008.
9. Golyshev, V. D. Problems of Bi4Ge3O12 and Li2B4O7 single crystal growth by crucibleless variant of AHP method / V. D. Golyshev, M. A. Gonik, V. B. Tsvetovsky // J. Cryst. Growth. − 1999. − V. 198/199. − P. 501—506.
10. Filonov, K. N. Osobennosti svoistv nanostrukturirovannyh karbidokremnievyh plenok i pokrytii, poluchennyh novym sposobom / K. N. Filonov, V. N. Kurlov, N. V. Klassen, E. A. Kudrenko, E. A. Shtein man // Izv. RAN. ser. fiz. − 2009. − T. 73, N 10. − P. 1457—1459.
11. Gonik, M. M. Avtomaticheskaya sistema upravleniya ustanovkoi rosta kristallov na baze tehnologii National Instruments / M. M. Gonik, M. A. Gonik, V. B. Cvetovskii, V. V. Lobachev // Tr. konf. «Obrazovatel’nye, nauchnye i inzhenernye prilozheniya v srede Lab-View i tehnologii National Instruments». − M., 2005. − P. 287—290.
12. Gonik, M. M. Design of control system for growing crystals with desired properties / M .M. Gonik, V. I. Boevkin, A. V. Lomokhova, M. A. Gonik // 3rd International Conference on Physics and Control (PhysCon 2007). − Potsdam, (Germany), 2007. − http://lib.physcon.ru/?item=1176
13. Gonik, M. A. Kontrol’ za formoi meniska rasplava pri up-ravlenii rostom kristallov bestigel’nym OTF metodom / M. A. Gonik, M. M. Gonik, T. V. Nizkaya // XVIII Peterburgskie chteniya po probleme prochnosti i rosta kristallov (metodom Stepanova). − S.−Pb., 2008. − P. 83—86.
14. Gonik, M. A. Development of a model for on−line control of crystal growth by the AHP method / M. A. Gonik, A. V. Lomokhova, M. M. Gonik, A. T. Kuliev, A. D. Smirnov // J. Cryst. Growth. − 2007. − V. 303, Iss. 1. − P. 180—186.
15. Gonik, M. A. Upravlenie formoi fronta kristallizacii po modeli / M. A. Gonik, M. M. Gonik, D. Tsiulyanu // Tez. dokl. XIV Nacional’noi konferencii po rostu kristallov. − M., 2010. − P. 98.
16. Yuferev, V. S. Kapillyarnoe formoobrazovanie kristallov, vytyagivaemyh iz rasplava bestigel’nym OTF metodom / V. S. Yuferev / Kristallografiya. − 2008. − T. 53. − P. 1214—1220.
17. von Ammon, W. Application of magnetic fields in industrial growth of silicon single crystals / W. von Ammon, Yu. Gelfgat, L. Gorbunov, A. Mühlbauer, A. Muiznieks, Y. Makarov, J. Virbulis, G. Müller // The 15th Riga and 6th PAMIR Conf. on Fundamental and Applied MHD. − Riga, 2005. − P. 41—54
Рецензия
Для цитирования:
Гоник М.И., Cröll A. К ВОЗМОЖНОСТИ ВЫРАЩИВАНИЯ ОБЪЕМНЫХ КРИСТАЛЛОВ Si—Ge МЕТОДОМ ОСЕВОГО ТЕПЛОВОГО ПОТОКА ВБЛИЗИ ФРОНТА КРИСТАЛЛИЗАЦИИ. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2013;(3):12-19. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2013-3-12-19
For citation:
Gonik M.A., Cröll A. POSSIBILITY OF GROWING BULK SI—GE CRYSTALS USING AXIAL HEAT FLOW METHOD NEAR THE CRYSTALLIZATION FRONT. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2013;(3):12-19. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2013-3-12-19
Просмотров: 4591
Послать статью по эл. почте 