Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники

Гавва, В. А., Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт химии высокочистых веществ им. Г. Г. Девятых РАН, ул. Тропинина, д. 49, Нижний Новгород, 603950, Россия Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, просп. Гагарина, д. 23, Нижний Новгород, 603950, Россия, Россия

• № 4 (2014) - Материаловедение и технология. Полупроводники
  ДИАГНОСТИКА ПРИМЕСНОГО СОСТАВА ВЫСОКОЧИСТОГО МОНОСИЛАНА ПО РЕЗУЛЬТАТАМ АНАЛИЗА КОНТРОЛЬНОГО МОНОКРИСТАЛЛА КРЕМНИЯ
  Аннотация  PDF (Rus)