Золотов, Д. А., Институт кристаллографии им. А. В. Шубникова РАН, ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН
-
Том 22, № 1 (2019) - Материаловедение и технология. Полупроводники
О связи протонного облучения и термической обработки монокристаллического кремния с его структурой
Аннотация PDF (Rus)
ISSN 1609-3577 (Print)
ISSN 2413-6387 (Online)
ISSN 2413-6387 (Online)