Для цитирования:
Асадчиков В.Е., Дьячкова И.Г., Золотов Д.А., Кривоносов Ю.С., Бублик В.Т., Шихов А.И. О связи протонного облучения и термической обработки монокристаллического кремния с его структурой. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2019;22(1):18-26. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2019-1-18-26
For citation:
Asadchikov V.E., Dyachkova I.G., Zolotov D.A., Krivonosov Yu.S., Bublik V.T., Shikhov A.I. On the relationship of proton irradiation and heat treatment of monocrystalline silicon with its structure. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2019;22(1):18-26. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2019-1-18-26
Послать статью по эл. почте 