Енишерлова, К. Л., Федеральное государственное предприятие «Научно–производственное предприятие «Пульсар», Россия
-
№ 1 (2013) - Наноматериалы и нанотехнологии
ВЛИЯНИЕ СВОЙСТВ СЛОЯ КРЕМНИЯ НА ЕМКОСТНЫЕ ПАРАМЕТРЫ МДП/КНС–СТРУКТУР
Аннотация PDF (Rus)
ISSN 1609-3577 (Print)
ISSN 2413-6387 (Online)
ISSN 2413-6387 (Online)