Макаревич, Ю. В., НИИПФП им. А. Н. Севченко БГУ, Беларусь, Беларусь

• № 4 (2012) - Материаловедение и технология. Полупроводники
  МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ И БЫСТРЫХ ТЕРМООБРАБОТОК ПРИ ФОРМИРОВАНИИ АКТИВНЫХ ОБЛАСТЕЙ СУБМИКРОННЫХ И НАНОМЕТРОВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ НА КРЕМНИИ
  Аннотация  PDF (Rus)