Информация об авторе

Макаревич, Ю. В., НИИПФП им. А. Н. Севченко БГУ, Беларусь, Беларусь

  • № 4 (2012) - Материаловедение и технология. Полупроводники
    МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ И БЫСТРЫХ ТЕРМООБРАБОТОК ПРИ ФОРМИРОВАНИИ АКТИВНЫХ ОБЛАСТЕЙ СУБМИКРОННЫХ И НАНОМЕТРОВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ НА КРЕМНИИ
    Аннотация  PDF (Rus)


ISSN 1609-3577 (Print)
ISSN 2413-6387 (Online)

Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального
образования «Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС»
Адрес: 119049, г. Москва, Ленинский проспект, д. 4 
Телефон: +7 (495) 638-45-31
Email: met.misis@inbox.ru

создано и поддерживается NEICON
(лаборатория Elpub)
powered by PKP OJS