Информация об авторе

Макаревич, Ю. В., НИИПФП им. А. Н. Севченко БГУ, Беларусь, Беларусь

  • № 4 (2012) - Материаловедение и технология. Полупроводники
    МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ И БЫСТРЫХ ТЕРМООБРАБОТОК ПРИ ФОРМИРОВАНИИ АКТИВНЫХ ОБЛАСТЕЙ СУБМИКРОННЫХ И НАНОМЕТРОВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ НА КРЕМНИИ
    Аннотация  PDF (Rus)


ISSN 1609-3577 (Print)
ISSN 2413-6387 (Online)