Для цитирования: Юзова В.А., Меркушев Ф.Ф., Ляйком Е.А. ФОРМИРОВАНИЕ СКВОЗНЫХ СТРУКТУР С РАЗЛИЧНОЙ ПОРИСТОСТЬЮ НА ТОЛСТЫХ ПЛАСТИНАХ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2014;(1):8-12. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2014-1-8-12

For citation: Yuzova V.A., Merkushev F.F., Lyaykom E.A. FORMATION OF CROSS-CUTTING STRUCTURES WITH DIFFERENT POROSITY ON THICK SILICON WAFERS. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2014;(1):8-12. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2014-1-8-12