Для цитирования:

Курочка А.С., Сергиенко А.А., Курочка С.П., Колыбелкин В.И. ОСОБЕННОСТИ ИОННО–ЭЛЕКТРОННОЙ ЭМИССИИ С ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ В ПРОЦЕССЕ РЕАКТИВНОГО ИОННО–ЛУЧЕВОГО ТРАВЛЕНИЯ. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2014;(2):104-108. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2014-2-104-108

For citation:

Kurochka A.S., Sergienko A.A., Kurochka S.P., Kolybelkin V.I. Properties of Ion–Electron Emission from the Surface of Semiconductor Material During Reactive Ion–Beam Etching. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2014;(2):104-108. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2014-2-104-108