Для цитирования:
Баталов Р.И., Валеев В.Ф., Нуждин В.И., Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Лебедев Д.В., Бухараев А.А., Степанов А.Л. СИНТЕЗ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ С НАНОЧАСТИЦАМИ СЕРЕБРА МЕТОДОМ НИЗКОЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2014;(4):278-283. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2014-4-278-283
For citation:
Batalov R.I., Valeev V.F., Nuzhdin V.I., Vorobev V.V., Osin Yu.N., Lebedev D.V., Bukharaev A.A., Stepanov A.L. Synthesis of Porous Silicon with Silver Nanoparticles by Low–Energy Ion Implantation. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2014;(4):278-283. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2014-4-278-283