Preview

Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники

Расширенный поиск
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Сейдман Л.А. ФОРМИРОВАНИЕ ТРЕХМЕРНЫХ СТРУКТУР В ПОДЛОЖКАХ КАРБИДА КРЕМНИЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ ТРАВЛЕНИЕМ. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2015;18(3):157-171. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2015-3-157-171

For citation:


Seidman L.A. FORMATION OF THREE−DIMENSIONAL STRUCTURES IN SILICON CARBIDE SUBSTRATES BY PLASMOCHEMISTRY ETCHING. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2015;18(3):157-171. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2015-3-157-171

Просмотров: 847


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1609-3577 (Print)
ISSN 2413-6387 (Online)