Для цитирования:

Eнишерлова К.Л., Русак Т.Ф., Корнеев В.И., Зазулина А.Н. ВЛИЯНИЕ КАЧЕСТВА ПОДЛОЖЕК SiC НА СТРУКТУРНОЕ НСТВО И НЕКОТОРЫЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ПЛЕНОК AlGaN/GaN. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2015;18(3):221-228. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2015-3-221-228

For citation:

Enisherlova K.L., Rusak T.F., Korneev V.I., Zazulina A.N. EFFECT OF SIC SUBSTRATE PROPERTIES ON STRUCTURAL PERFECTION AND ELECTRICAL PARAMETERS OF ALGAN/G LAYERS. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2015;18(3):221-228. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2015-3-221-228