Для цитирования: Харченко В.А. Геттеры в кремнии. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2018;21(1):5-17. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2018-1-5-17

For citation: Kharchenko V.A. The getters in silicon. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2018;21(1):5-17. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2018-1-5-17