Для цитирования:
Верезуб Н.А., Кожитов Л.В., Кондратенко Т.Т., Простомолотов А.И., Силаев И.В. Технология и термомеханика при выращивании трубчатых монокристаллов кремния. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2022;25(3):202-213. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2022-3-202-213
For citation:
Verezub N.A., Kozhitov L.V., Kondratenko T.T., Prostomolotov A.I., Silaev I.V. Technology and thermomechanics in growing tubular silicon single crystals. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2022;25(3):202-213. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2022-3-202-213