ОСОБЕННОСТИ ПРОЦЕССОВ ФОРМИРОВАНИЯ МИКРОВКЛЮЧЕНИЙ В КРИСТАЛЛАХ МУЛЬТИКРЕМНИЯ, ВЫРАЩЕННЫХ ИЗ МЕТАЛЛУРГИЧЕСКОГО РАФИНИРОВАННОГО КРЕМНИЯ МЕТОДОМ БРИДЖМЕНА—СТОКБАРГЕРА


https://doi.org/10.17073/1609-3577-2012-4-12-17

Полный текст:


Аннотация

Исследованы особенности распределения примесей в кристаллах мультикремния, выращенных из металлургического рафинированного кремния вертикальным методом Бриджмена—Стокбаргера. Методами масс−спектрометрии с индуктивно связанной плазмой и рентгеноспектрального электронно−зондового микроанализа проведены комплексные исследования химического состава металлургического кремния и слитков мультикремния, выращенных при различных условиях кристаллизации. Изучены размеры и характер распределения микровключений на полированных, травленых поверхностях и сколах кристаллов мультикремния. Выявлены многокомпонентные (состоящие из трех и более элементов) микровключения размером до 100 мкм в слитках мультикремния, выращенных при высоких скоростях (1,5 см/ч) кристаллизации, и малокомпонентные микровключения размером до 1 мкм в слитках мультикремния, полученных при скоростях кристаллизации от 0,5 до 1 см/ч.


Об авторах

С. М. Пещерова
Институт геохимии им. А. П. Виноградова Сибирского отделения Российской академии наук
Россия


Л. А. Павлова
Институт геохимии им. А. П. Виноградова Сибирского отделения Российской академии наук
Россия


А. И. Непомнящих
Институт геохимии им. А. П. Виноградова Сибирского отделения Российской академии наук
Россия


И. А. Елисеев,
Институт геохимии им. А. П. Виноградова Сибирского отделения Российской академии наук
Россия


Ю. В. Сокольникова
Институт геохимии им. А. П. Виноградова Сибирского отделения Российской академии наук
Россия


Список литературы

1. Непомнящих, А. И. Мультикристаллический кремний для солнечной энергетики / А. И. Непомнящих, В. П. Еремин, Б. А. Красин, И. Е. Васильева, И. А. Елисеев, А. В. Золотайко, С. И. Попов, В. В. Синицкий // Изв. вузов. Материалы электрон. техники.− 2002. − Т. 4. − С. 16—24.

2. Непомнящих, А. И. Особенности роста мультикристаллического кремния из металлургического кремния высокой чистоты / А. И. Непомнящих, Р. В. Пресняков, И. А. Елисеев, Ю. В. Сокольникова // Письма в ЖТФ. − 2011. − Т. 37, вып. 15. − С. 103.

3. Непомнящих, А. И. Способ получения кремния высокой чистоты / А. И. Непомнящих, Б. А. Красин, В. С. Романов, В. П. Еремин, С. С. Коляго, И. А. Елисеев // Пат. РФ № 2131843. Приоритет от 30.03.98; Опубликовано Бюлл. №17 от 20.06.99.

4. Васильева, И. Е. Комплекс методов определения примесей в мультикремнии и продуктах его производства / И. Е. Васильева, Е. В. Шабанова, Ю. В. Сокольникова, О. А. Пройдакова, А. И. Непомнящих, И. Л. Васильев, А. Л. Финкельштейн // Аналитика и контроль. − 2001. − Т. 5, № 1. − С. 24—34.

5. Павлова, Л. А. Исследование мультикристаллов кремния методами электронной микроскопии и электронно−зондового микроанализа / Л. А. Павлова, А. И. Непомнящих, С. М. Пещерова // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. − 2011. − № 10. − С. 37—41.


Дополнительные файлы

Для цитирования: Пещерова С.М., Павлова Л.А., Непомнящих А.И., Елисеев, И.А., Сокольникова Ю.В. ОСОБЕННОСТИ ПРОЦЕССОВ ФОРМИРОВАНИЯ МИКРОВКЛЮЧЕНИЙ В КРИСТАЛЛАХ МУЛЬТИКРЕМНИЯ, ВЫРАЩЕННЫХ ИЗ МЕТАЛЛУРГИЧЕСКОГО РАФИНИРОВАННОГО КРЕМНИЯ МЕТОДОМ БРИДЖМЕНА—СТОКБАРГЕРА. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2012;(4):12-17. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2012-4-12-17

For citation: Pescherova S.M., Pavlova L.A., Nepomnyaschikh A.I., Eliseev I.A., Sokolnikova Y.V. Specific Features of Microinclusion Formation in Multisilicon Crystals Grown from Refined Metallurgical Silicon by the Bridgman–Stockbarger Method. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2012;(4):12-17. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2012-4-12-17

Просмотров: 237

Обратные ссылки

  • Обратные ссылки не определены.


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1609-3577 (Print)
ISSN 2413-6387 (Online)