ОСОБЕННОСТИ ПРОЦЕССОВ ФОРМИРОВАНИЯ МИКРОВКЛЮЧЕНИЙ В КРИСТАЛЛАХ МУЛЬТИКРЕМНИЯ, ВЫРАЩЕННЫХ ИЗ МЕТАЛЛУРГИЧЕСКОГО РАФИНИРОВАННОГО КРЕМНИЯ МЕТОДОМ БРИДЖМЕНА—СТОКБАРГЕРА

Исследованы особенности распределения примесей в кристаллах мультикремния, выращенных из металлургического рафинированного кремния вертикальным методом Бриджмена—Стокбаргера. Методами масс−спектрометрии с индуктивно связанной плазмой и рентгеноспектрального электронно−зондового микроанализа проведены комплексные исследования химического состава металлургического кремния и слитков мультикремния, выращенных при различных условиях кристаллизации. Изучены размеры и характер распределения микровключений на полированных, травленых поверхностях и сколах кристаллов мультикремния. Выявлены многокомпонентные (состоящие из трех и более элементов) микровключения размером до 100 мкм в слитках мультикремния, выращенных при высоких скоростях (1,5 см/ч) кристаллизации, и малокомпонентные микровключения размером до 1 мкм в слитках мультикремния, полученных при скоростях кристаллизации от 0,5 до 1 см/ч.

1. Непомнящих, А. И. Мультикристаллический кремний для солнечной энергетики / А. И. Непомнящих, В. П. Еремин, Б. А. Красин, И. Е. Васильева, И. А. Елисеев, А. В. Золотайко, С. И. Попов, В. В. Синицкий // Изв. вузов. Материалы электрон. техники.− 2002. − Т. 4. − С. 16—24.

2. Непомнящих, А. И. Особенности роста мультикристаллического кремния из металлургического кремния высокой чистоты / А. И. Непомнящих, Р. В. Пресняков, И. А. Елисеев, Ю. В. Сокольникова // Письма в ЖТФ. − 2011. − Т. 37, вып. 15. − С. 103.

3. Непомнящих, А. И. Способ получения кремния высокой чистоты / А. И. Непомнящих, Б. А. Красин, В. С. Романов, В. П. Еремин, С. С. Коляго, И. А. Елисеев // Пат. РФ № 2131843. Приоритет от 30.03.98; Опубликовано Бюлл. №17 от 20.06.99.

4. Васильева, И. Е. Комплекс методов определения примесей в мультикремнии и продуктах его производства / И. Е. Васильева, Е. В. Шабанова, Ю. В. Сокольникова, О. А. Пройдакова, А. И. Непомнящих, И. Л. Васильев, А. Л. Финкельштейн // Аналитика и контроль. − 2001. − Т. 5, № 1. − С. 24—34.

5. Павлова, Л. А. Исследование мультикристаллов кремния методами электронной микроскопии и электронно−зондового микроанализа / Л. А. Павлова, А. И. Непомнящих, С. М. Пещерова // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. − 2011. − № 10. − С. 37—41.