Для цитирования:

Подгорный Д.А., Нестюркин М.С., Комаровский Н.Ю. Влияние технологических параметров при многопроволочной резке слитков GaAs на поверхностные характеристики пластин. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2023;26(2):101-109. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2023-2-101-109. EDN: PMDJIV

For citation:

Podgorny D.A., Nestyurkin M.S., Komarovskiy N.Yu. Influence of technological parameters during multiwire cutting of GaAs ingots on the surface characteristics of the plates. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2023;26(2):101-109. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2023-2-101-109. EDN: PMDJIV