Для цитирования:

Зорина М.В., Михайленко М.С., Пестов А.Е., Перекалов А.А., Чхало Н.И. Формирование антиотражающей структуры на поверхности монокристаллического кремния ускоренными ионами Xe. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2024;27(4):287-294. https://doi.org/10.17073/1609-3577j.met202408.608

For citation:

Zorina M.V., Mikhailenko M.S., Pestov A.E., Perekalov A.A., Chkhalo N.I. Formation of an antireflective structure on the surface of single-crystal silicon by accelerated Xe ions. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2024;27(4):287-294. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577j.met202408.608