Быстрый термический отжиг в технологиях изготовления диодных и фотодиодных структур на основе кремния

А. С. Ким; Н. А. Переведенцева; С. Ю. Юрчук; Ф. Д. Коржов

Для цитирования:

Ким А.С., Переведенцева Н.А., Юрчук С.Ю., Коржов Ф.Д. Быстрый термический отжиг в технологиях изготовления диодных и фотодиодных структур на основе кремния. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2025;28(1). https://doi.org/10.17073/1609-3577j.met202501.634

Просмотров PDF (Rus): 3

Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.

ISSN 1609-3577 (Print)
ISSN 2413-6387 (Online)

Логин
Пароль
	Запомнить меня

Войти

Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники

Для цитирования:

Использование куки-файлов