Для цитирования:

Ким А.С., Переведенцева Н.А., Юрчук С.Ю., Коржов Ф.Д. Быстрый термический отжиг в технологиях изготовления диодных и фотодиодных структур на основе кремния. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2025;28(1):34-43. https://doi.org/10.17073/1609-3577j.met202501.634

For citation:

Kim A.S., Perevedentseva N.A., Yurchuck S.Yu., Korzhov F.D. Fast thermal annealing for manufacturing of silicon diodes and photodiodes. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2025;28(1):34-43. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577j.met202501.634