ПЛАНАРНЫЕ ВОЛНОВОДЫ ГРАДИЕНТНОГО ТИПА НА ОСНОВЕ НАНОРАЗМЕРНЫХ СЛОЕВ КВАРЦЕВОГО СТЕКЛА, ПОЛУЧЕННЫЕ В МИКРОВОЛНОВОЙ ПЛАЗМЕ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ
Аннотация
Представлены результаты разработки и исследования технологии получения планарных градиентных волноводов на основе нанослоев фторированного кварцевого стекла в плазме СВЧ−разряда пониженного давления. Исследованы оптические характеристики планарных градиентных волноводов, рассмотрены вопросы их применения в многоканальных оптических разветвителях.
Об авторах
И. П. ШиловРоссия
кандидат техн. наук, зав. лаб., Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Фрязинское отделение, 141120, г. Фрязи
Л. Ю. Кочмарев
Россия
старший научный сотрудник, Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Фрязинское отделение, 141120, г. Фрязино, пл. Введенского, д. 1
Н. Т. Ключник
Россия
кандидат техн. наук, нач. отдела, ЗАО ЦНИТИ «Техномаш−ВОС», 121108, г. Москва, ул. Ивана Франко, д. 4
М. Я. Яковлев
Россия
кандидат техн. наук, ген. директор, ЗАО ЦНИТИ «Техномаш−ВОС», 121108, г. Москва, ул. Ивана Франко, д. 4
Список литературы
1. Засовин, Э. А. Многополюсные волоконно−оптические разветвители для локальных систем передачи информации / Э. А. Засовин, Н. Т. Ключник, М. Я. Яковлев // Радиотехника. − 2004. − № 12. − С. 44—49.
2. Берикашвили, Ш. Интегрально−оптические волноводные дисперсионные элементы для ВОЛС / Ш. Берикашвили,Н. Т. Ключник, К. Н. Костенко, М. Я. Яковлев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. − 2005. − № 2. − С. 10—16.
3. Берикашвили, В. Ш. СВЧ−плазмохимическое осаждение планарных волноводных структур на основе кварцевого стекла / В. Ш. Берикашвили, В. В. Григорьянц, Н. Т. Ключник, Л. Ю. Кочмарев, И. П. Шилов, М. Я. Яковлев // Микросистемная техника. − 2004. − № 8. − С. 28—33.
4. Artjushenko, V. G. Plasmo−chemical synthesis of power fiber silica structures in a plasma of RF− and SRF−discharges / V. G. Artjushenko, L. M. Blinov, V. V. Volodko, Yu. V. Guljaev, E. M. Dianov, A. M. Prokhorov, V. P. Pashinin, A. M. Solomatin, I. P. Shilov // J. Soviet Lightwave Communications. − 1992. − N 2. − P. 171—182.
5. Лебедев, И. В. Техника и приборы СВЧ / И. В. Лебедев. − М. : Высшая школа, 1970. − Т. 1. − 245 с.
6. Котюк, А. Ф. Введение в технику измерений оптико−физических параметров световодных систем / А. Ф. Котюк, Ю. А. Курчатов, Ю. П. Майборода. − М. : Радио и связь, 1987. − 224 с.
7. Житковский, В. Д. Многомодовые разветвители на основе планарных оптических волноводов для информационных систем подвижных объектов / В. Д. Житковский, Н. Т. Ключник, И. П. Шилов, М. Я. Яковлев // Системы и средства связи, телевидения и радиовещания. − 2005. − № 1/2. − С. 50—61.
8. Ключник, Н. Т. Волоконно−оптические разветвители на основе слоевых световодных структур / Н. Т. Ключник // Радиотехника. − 2004. − № 12. − С. 39—43.
9. Адамс, М. Введение в теорию оптических волноводов / М. Адамс. − М. : Мир, 1984. − 512 с.
Для цитирования:
Шилов И.П., Кочмарев Л.Ю., Ключник Н.Т., Яковлев М.Я. ПЛАНАРНЫЕ ВОЛНОВОДЫ ГРАДИЕНТНОГО ТИПА НА ОСНОВЕ НАНОРАЗМЕРНЫХ СЛОЕВ КВАРЦЕВОГО СТЕКЛА, ПОЛУЧЕННЫЕ В МИКРОВОЛНОВОЙ ПЛАЗМЕ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2012;(4):59-64. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2012-4-59-64
For citation:
Shilov I.P., Kochmarev L.U., Klyuchnik N.T., Yakovlev M.Y. Gradient Planar Optical Waveguides on the Basis of Fluorinated Silica Glasses Fabricated in Low Pressure Microwave Plasma. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2012;(4):59-64. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2012-4-59-64
Послать статью по эл. почте 