Gradient Planar Optical Waveguides on the Basis of Fluorinated Silica Glasses Fabricated in Low Pressure Microwave Plasma
https://doi.org/10.17073/1609-3577-2012-4-59-64
Abstract
Results on gradient planar optical waveguides on the basis of fluorinated silica glasses fabricated in low pressure HF−plasma are presented. The optical characteristics are investigated and possible applications of planar gradient waveguides in multi−channel optic couplers are considered.
About the Authors
I. P. ShilovRussian Federation
L. U. Kochmarev
Russian Federation
N. T. Klyuchnik
Russian Federation
M. Ya. Yakovlev
Russian Federation
References
1. Засовин, Э. А. Многополюсные волоконно−оптические разветвители для локальных систем передачи информации / Э. А. Засовин, Н. Т. Ключник, М. Я. Яковлев // Радиотехника. − 2004. − № 12. − С. 44—49.
2. Берикашвили, Ш. Интегрально−оптические волноводные дисперсионные элементы для ВОЛС / Ш. Берикашвили,Н. Т. Ключник, К. Н. Костенко, М. Я. Яковлев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. − 2005. − № 2. − С. 10—16.
3. Берикашвили, В. Ш. СВЧ−плазмохимическое осаждение планарных волноводных структур на основе кварцевого стекла / В. Ш. Берикашвили, В. В. Григорьянц, Н. Т. Ключник, Л. Ю. Кочмарев, И. П. Шилов, М. Я. Яковлев // Микросистемная техника. − 2004. − № 8. − С. 28—33.
4. Artjushenko, V. G. Plasmo−chemical synthesis of power fiber silica structures in a plasma of RF− and SRF−discharges / V. G. Artjushenko, L. M. Blinov, V. V. Volodko, Yu. V. Guljaev, E. M. Dianov, A. M. Prokhorov, V. P. Pashinin, A. M. Solomatin, I. P. Shilov // J. Soviet Lightwave Communications. − 1992. − N 2. − P. 171—182.
5. Лебедев, И. В. Техника и приборы СВЧ / И. В. Лебедев. − М. : Высшая школа, 1970. − Т. 1. − 245 с.
6. Котюк, А. Ф. Введение в технику измерений оптико−физических параметров световодных систем / А. Ф. Котюк, Ю. А. Курчатов, Ю. П. Майборода. − М. : Радио и связь, 1987. − 224 с.
7. Житковский, В. Д. Многомодовые разветвители на основе планарных оптических волноводов для информационных систем подвижных объектов / В. Д. Житковский, Н. Т. Ключник, И. П. Шилов, М. Я. Яковлев // Системы и средства связи, телевидения и радиовещания. − 2005. − № 1/2. − С. 50—61.
8. Ключник, Н. Т. Волоконно−оптические разветвители на основе слоевых световодных структур / Н. Т. Ключник // Радиотехника. − 2004. − № 12. − С. 39—43.
9. Адамс, М. Введение в теорию оптических волноводов / М. Адамс. − М. : Мир, 1984. − 512 с.
Review
For citations:
Shilov I.P., Kochmarev L.U., Klyuchnik N.T., Yakovlev M.Ya. Gradient Planar Optical Waveguides on the Basis of Fluorinated Silica Glasses Fabricated in Low Pressure Microwave Plasma. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2012;(4):59-64. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2012-4-59-64