Для цитирования:

Прокудин С.В., Усеинов А.С. НАБЛЮДЕНИЕ ОСОБЕННОСТЕЙ ФАЗОВЫХ ПЕРЕХОДОВ В КРЕМНИИ ПРИ ВЫСОКОМ ЛОКАЛЬНОМ ДАВЛЕНИИ В УСЛОВИЯХ ИНДЕНТИРОВАНИЯ. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2012;(1):17-21. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2012-1-17-21

For citation:

Prokudin S.V., Useinov A.S. OBSERVATION OF PHASE TRANSITIONS FEATURES IN SILICON AT HIGH LOCAL PRES-SURE UNDER INDENTATION. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2012;(1):17-21. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2012-1-17-21