Информация об авторе

Рахлин, В. И., Иркутский институт химии им. А. Е. Фаворского СО РАН, ул. Фаворского, д. 1, Иркутск, 664033, Россия, Россия

  • № 3 (2014) - Эпитаксиальные слои и многослойные композиции
    СИНТЕЗ И ХАРАКТЕРИЗАЦИЯ ТРИМЕТИЛ(ФЕНИЛ)СИЛАНА — ПРЕДШЕСТВЕННИКА ДЛЯ ГАЗОФАЗНЫХ ПРОЦЕССОВ ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК SiCx : H
    Аннотация  PDF (Rus)


ISSN 1609-3577 (Print)
ISSN 2413-6387 (Online)