Рахлин, В. И., Иркутский институт химии им. А. Е. Фаворского СО РАН, ул. Фаворского, д. 1, Иркутск, 664033, Россия, Россия

• № 3 (2014) - Эпитаксиальные слои и многослойные композиции
  СИНТЕЗ И ХАРАКТЕРИЗАЦИЯ ТРИМЕТИЛ(ФЕНИЛ)СИЛАНА — ПРЕДШЕСТВЕННИКА ДЛЯ ГАЗОФАЗНЫХ ПРОЦЕССОВ ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК SiCx : H
  Аннотация  PDF (Rus)