Ермакова, Е. Н., Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН, пр. Академика Лаврентьева, д. 3, Новосибирск, 630090, Россия, Россия

• № 3 (2014) - Эпитаксиальные слои и многослойные композиции
  СИНТЕЗ И ХАРАКТЕРИЗАЦИЯ ТРИМЕТИЛ(ФЕНИЛ)СИЛАНА — ПРЕДШЕСТВЕННИКА ДЛЯ ГАЗОФАЗНЫХ ПРОЦЕССОВ ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК SiCx : H
  Аннотация  PDF (Rus)