Для цитирования:

Комков О.С., Фирсов Д.Д., Ковалишина Е.А., Петров А.С. ОПРЕДЕЛЕНИЕ ТОЛЩИНЫ АВТОЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ АРСЕНИДА ИНДИЯ МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ ФУРЬЕ–СПЕКТРОСКОПИИ. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2014;(3):194-198. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2014-3-194-198

For citation:

Komkov O.S., Firsov D.D., Kovalishina E.A., Petrov A.S. Determination of Indium Arsenide Autoepitaxial Layer Thickness by Fourier–Transform Infrared Spectroscopy. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2014;(3):194-198. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2014-3-194-198