Для цитирования:

Коваленко А.Ф., Воробьев А.А. МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ НЕРАЗРУШАЮЩИХ РЕЖИМОВ ЛАЗЕРНОГО ОТЖИГА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2015;18(2):127-132. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2015-2-127-132

For citation:

Kovalenko A.F., Vorobiev A.A. The Method for Determination of Nondestructive Conditions of Laser Annealing of Dielectric and Semiconductor Plates. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2015;18(2):127-132. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2015-2-127-132