Для цитирования:
Эйдельман К.Б., Табачкова Н.Ю., Щербачев К.Д., Пархоменко Ю.Н., Привезенцев В.В., Мигунов Д.М. Структурные особенности формирования цинкосодержащих наночастиц, полученных методом ионной имплантации в Si(001) и последующим термическим отжигом. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2016;19(4):262-270. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2016-4-262-270
For citation:
Eidelman K.B., Tabachkova N.Yu., Shcherbachev K.D., Parkhomenko Yu.N., Privesentsev V.V., Migunov D.M. Structural formation aspects of Zn–containing nanoparticles synthesized by ion implantation in Si (001) followed by thermal annealing. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2016;19(4):262-270. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2016-4-262-270
Послать статью по эл. почте 