ПЕРСПЕКТИВНЫЕ МАТЕРИАЛЫ АКУСТОЭЛЕКТРОНИКИ
https://doi.org/10.17073/1609-3577-2012-3-25-28
Аннотация
Представлены результаты исследования многокомпонентных пьезоэлектрических кристаллов группы лантангаллиевого силиката (лангасита). Изучены процессы синтеза и структура кристаллов. С использованием методов рентгеновской топографии и дифрактометрии исследованы акустические свойства
кристаллов. Продемонстрирована возможность применения этих пьезоэлектрических кристаллов в
высокотемпературных сенсорных устройствах на поверхностных акустических волнах.
Об авторах
Д. В. Рощупкин
ФГБУН «Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН»
Россия
Россия
доктор физ.−мат. наук, зам. директора по научной работе, ФГБУН «Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН», 142432, Московская область, г. Черноголовка, ул. Академика Осипьяна, д. 6,
Д. В. Иржак
ФГБУН «Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН»
Россия
Россия
кандидат физ.−мат. наук, старший научный сотрудник, ФГБУН «Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН», 142432, Московская область, г. Черноголовка, ул. Академика Осипьяна, д. 6
Е. В. Емелин
ФГБУН «Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН»
Россия
Россия
кандидат физ.−мат. наук, научный сотрудник, ФГБУН «Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН», 142432, Московская область, г. Черноголовка, ул. Академика Осипьяна, д. 6,
Р. Р. Фахртдинов
ФГБУН «Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН»
Россия
Россия
зам. директора по научной работе, аспирант, ФГБУН «Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН», 142432, Московская область, г. Черноголовка, ул. Академика Осипьяна, д. 6,
О. А. Бузанов
ОАО «ФОМОС Материалс»
Россия
Россия
кандидат техн. наук, старший научный сотрудник, ОАО «ФОМОС Материалс», 105023, г. Москва;
ул. Буженинова, д. 16
С. А. Сахаров
ОАО «ФОМОС Материалс»
Россия
Россия
старший научный сотрудник, ОАО «ФОМОС Материалс», 105023, г. Москва; ул. Буженинова, д. 16
Список литературы
1. Da Cunda, M. P. Investigation on recent quartz−like materials for SAW applications / M. P. Da Cunda, S. A. Fagundes // IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control. − 1999. − V. 46. − P. 1583—1594.
2. Smythe, R. C. Langasite, langanite, and langatate bulk− wave Y−cut resonators / R. C. Smythe, R. C. Helmbold, G. E. Hague, K. A. Snow // Ibid. − 2000. − V. 47. − P. 355—361.
3. Fritze, H. Langasite for high−temperature bulk acoustic wave applications / H. Fritze, H. L. Tuller // Appl. Phys. Lett. − 2001. − V. 78. − P. 976—983.
4. Naumenko, N. Optimal cuts of langasite, La3Ga5SiO14 for SAW devices / N. Naumenko // IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control. − 2001. − V. 48. − P. 530—538.
5. Roshchupkin, D. V. X−ray Bragg diffraction from langasite crystal modulated by surface acoustic wave / D. V. Roshchupkin, D. V. Irzhak, R. Tucoulou, O. A. Buzanov // J. Appl. Phys. − 2003. − V. 94. − P. 6692—6692.
6. Roshchupkin, D. V. X−ray topography analysis of acoustic wave fields in the SAW−resonators structures / D. V. Roshchupkin, H. D. Roshchupkina, D. V. Irzhak // IEEE Transaction on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control. − 2005. − V. 52. − P. 2081— 2087.
7. Roshchupkin, D. Diffraction of a focused x−ray beam from La3Ga5SiO14 crystal modulated by surface acoustic waves / D. Roshchupkin, D. Irzhak, A. Snigirev, I. Snigireva, L. Ortega, A. Sergeev // J. Appl. Phys. − 2011. − V. 110. − P. 124902(7).
8. Roshchupkin, D. V. X−ray diffraction analysis of the surface acoustic wave propagation in langatate crystal / D. V. Roshchupkin, A. I. Erko, L. Ortega, D. V. Irzhak // J. Appl. Phys. A. − 2009. − V. 94. − P. 477—485.
9. Roshchupkin, D. V. Investigation of structural perfection and acoustic properties of La3Ga5SiO14 crystals by high resolution x−ray diffraction, topography, and microfluorescence analysis / D. V. Roshchupkin, D. V. Irzhak, E. D. Roshchupkina, O. A. Buzanov // Crystallography Rep. − 2004. − V. 49. − P. S80—S88.
10. Sakharov, S. High−temperature sensor based on SAW−modulated langasite crystal / S. Sakharov, D. Roshchupkin, E. Emelin, D. Irzhak, O. Buzanov, A. Zabelin // Proc. Eng. − 2011. − V. 25. − P. 1020—1023.
Рецензия
Для цитирования:
Рощупкин Д.В., Иржак Д.В., Емелин Е.В., Фахртдинов Р.Р., Бузанов О.А., Сахаров С.А. ПЕРСПЕКТИВНЫЕ МАТЕРИАЛЫ АКУСТОЭЛЕКТРОНИКИ. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2012;(3):25-28. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2012-3-25-28
For citation:
Roshchupkin D.V., Irzhak D.V., Emelin E.V., Fahrtdinov R.R., Buzanov O.A., Sakharov S.A. Advanced Materials for Acoustoelectronics. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2012;(3):25-28. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2012-3-25-28
Просмотров:
884
Послать статью по эл. почте 