Для цитирования:

Петросянц К.О., Силкин Д.С., Попов Д.А. Оценка влияния параметров структуры FinFET на электрические характеристики средствами TCAD-моделирования. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2021;24(4):222-228. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2021-4-222-228

For citation:

Petrosyants K.O., Silkin D.S., Popov D.A. Evaluation of the effect of FinFET structure parameters on electrical characteristics using TCAD modeling tools. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2021;24(4):222-228. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2021-4-222-228