Для цитирования: Ткачева Т.М., Иванова Л.М., Демаков К.Д., Шахов М.Н. НАПРЯЖЕНИЕ И АДГЕЗИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК 3C–SiC, ВЫРАЩЕННЫХ МЕТОДОМ ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ НА КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖКАХ. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2012;(4):24-27. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2012-4-24-27

For citation: Tkacheva T.M., Ivanova L.M., Demakov K.D., Shakhov M.N. Stress and Adhesion of CVD Grown Polycrystalline 3C–SiC Films on Silicon Substrates. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2012;(4):24-27. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2012-4-24-27