Для цитирования:

Латухина Н.В., Кобелева С.П., Рогожина Г.А., Шишкин И.А., Щемеров И.В. Контактные и бесконтактные методы измерения параметров пористого кремния. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2018;21(2):112-121. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2018-2-112-121

For citation:

Latukhina N.V., Kobeleva S.P., Rogozhina G.A., Shishkin I.A., Schemerov I.V. Contact and contactless methods for measuring the parameters of porous silicon. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2018;21(2):112-121. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2018-2-112-121