Для цитирования:

Гоник М.А., Baltaretu F. Как обеспечить постоянную концентрацию примеси по высоте слитка. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2018;21(2):69-82. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2018-2-69-82

For citation:

Gonik M.A., Baltaretu F. How to provide the constant impurity distribution along the ingot. Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering. 2018;21(2):69-82. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1609-3577-2018-2-69-82