Preview

Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники

Расширенный поиск

Поиск


Сортировать по:     
 
Выпуск Название
 
Том 18, № 3 (2015) ИССЛЕДОВАНИЕ ИОННО–ЭЛЕКТРОННОЙ ЭМИССИИ В ПРОЦЕССЕ РЕАКТИВНОГО ИОННО–ЛУЧЕВОГО ТРАВЛЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
А. С. Курочка, А. А. Сергиенко, С. П. Курочка
"... контроля процессов реактивного ионнолучевого травления различных диэлектрических тонкопленочных материалов ..."
 
№ 2 (2014) ОСОБЕННОСТИ ИОННО–ЭЛЕКТРОННОЙ ЭМИССИИ С ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ В ПРОЦЕССЕ РЕАКТИВНОГО ИОННО–ЛУЧЕВОГО ТРАВЛЕНИЯ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
А. С. Курочка, А. А. Сергиенко, С. П. Курочка, В. И. Колыбелкин
"... эмиссии в процессе ионнолучевого травления. Представлены результаты исследований значения тока вторичных ..."
 
Том 27, № 1 (2024) Тонкие пленки Y3Fe5O12/Ba0,8Sr0,2TiO3: синтез и перспективы интеграции Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
М. С. Афанасьев, Е. И. Гольдман, А. И. Стогний, Г. В. Чучева
"... ) и сегнетоэлектрических (Ba0,8Sr0,2TiO3) пленок на кремниевых подложках,полученных методом ионно ..."
 
№ 3 (2013) ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТЕЙ УЛУЧШЕНИЯЭНЕРГОМАССОВЫХ ХАРАКТЕРИСТИК СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПРОЦЕССА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
П. Б. Лагов, А. С. Дренин, Е. С. Роговский, А. М. Леднев
"... выполнено на установке реактивно−ионного травления с источником высокоплотной плазмы индукционного типа в ..."
 
№ 4 (2012) ОСОБЕННОСТИ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННОГО ХИМИЧЕСКИМ ТРАВЛЕНИЕМ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Т. Ю. Белик
"... Проведено комплексное исследование пористых слоев, полученных химическим травлением, определена ..."
 
№ 1 (2014) ФОРМИРОВАНИЕ СКВОЗНЫХ СТРУКТУР С РАЗЛИЧНОЙ ПОРИСТОСТЬЮ НА ТОЛСТЫХ ПЛАСТИНАХ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Юзова, Ф. Ф. Меркушев, Е. А. Ляйком
"... Электрохимическим травлением в растворах концентрированной плавиковой кислоты получены сквозные ..."
 
№ 3 (2012) ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ НАНОПОРИСТЫХ И НАНОТРУБЧАТЫХ СЛОЕВ ОКСИДА ТИТАНА МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ИМПЕДАНСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Л. А. Балагуров, М. А. Агафонова, Е. А. Петрова, А. Г. Яковенко
"... Электролитическим травлением в смешанном органо−неорганическом электролите получены слои ..."
 
Том 21, № 1 (2018) Влияние травления теллурида кадмия на качество поверхности эпитаксиальных структур Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. В. Парамонов, О. В. Новикова, В. Г. Косушкин
"... Исследовано травление подложек теллурида кадмия в водных и неводных растворах перед процессом ..."
 
Том 26, № 2 (2023) Воздействие наносекундных ультрафиолетовых лазерных импульсов на поверхность монокристаллов германия Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. Ю. Железнов, Т. В. Малинский, В. Е. Рогалин, Ю. В. Хомич, В. А. Ямщиков, И. А. Каплунов, А. И. Иванова
"... Впервые проведено подробное комплексное исследование «сухого» травления дислокационных и ..."
 
Том 18, № 3 (2015) ФОРМИРОВАНИЕ ТРЕХМЕРНЫХ СТРУКТУР В ПОДЛОЖКАХ КАРБИДА КРЕМНИЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ ТРАВЛЕНИЕМ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Л. А. Сейдман
"... кремния. Технологически эта задача решается ионно−стимулированным плазмо-химическим травлением в различных ..."
 
Том 23, № 3 (2020) Модификация поверхности германия при воздействии излучения наносекундного ультрафиолетового лазера Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. Ю. Железнов, Т. В. Малинский, С. И. Миколуцкий, В. Е. Рогалин, С. А. Филин, Ю. В. Хомич, В. А. Ямщиков, И. А. Каплунов, А. И. Иванова
"... ямок травления с правильной трехгранной формой, концентрация которых  составляла (3—5) ⋅ 105 см-2 ..."
 
Том 27, № 1 (2024) Физические и технологические причины возникновения канальной неоднородности в монокристаллах InSb, сильнолегированных Te Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Н. Ю. Комаровский, Ю. Н. Пархоменко, Е. В. Молодцова, Е. О. Журавлёв, В. А. Чупраков, Р. Ю. Козлов, С. Н. Князев, А. Г. Белов
 
Том 27, № 4 (2024) Формирование антиотражающей структуры на поверхности монокристаллического кремния ускоренными ионами Xe Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
М. В. Зорина, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, А. А. Перекалов, Н. И. Чхало
"... Рассмотрено влияние ионно-пучкового травления на отражательные характеристики монокристаллического ..."
 
Том 20, № 4 (2017) Дислокационная структура эпитаксиальных слоев гетероструктур AlGaN/GaN/α-Al2O3 при легировании слоя GaN углеродом и железом Аннотация  похожие документы
Т. Ф. Русак, К. Л. Енишерлова, А. В. Лютцау, В. В. Сарайкин, В. И. Корнеев
"... использовались методы: масс-спектроскопия вторичных ионов, селективное химическое травление на сферических шлифах ..."
 
1 - 14 из 14 результатов

Советы по поиску:

  • Поиск ведется с учетом регистра (строчные и прописные буквы различаются)
  • Служебные слова (предлоги, союзы и т.п.) игнорируются
  • По умолчанию отображаются статьи, содержащие хотя бы одно слово из запроса (то есть предполагается условие OR)
  • Чтобы гарантировать, что слово содержится в статье, предварите его знаком +; например, +журнал +мембрана органелла рибосома
  • Для поиска статей, содержащих все слова из запроса, объединяйте их с помощью AND; например, клетка AND органелла
  • Исключайте слово при помощи знака - (дефис) или NOT; например. клетка -стволовая или клетка NOT стволовая
  • Для поиска точной фразы используйте кавычки; например, "бесплатные издания". Совет: используйте кавычки для поиска последовательности иероглифов; например, "中国"
  • Используйте круглые скобки для создания сложных запросов; например, архив ((журнал AND конференция) NOT диссертация)